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凈化資訊

潔凈室靜電測試方法

發表時間:2018-06-08 17:40:10瀏覽量:

潔凈室靜電測試方法

C.15.1 潔凈室(區)內的地面、墻面和工作臺面等的表面導靜電性能的測試,應根據生產工藝要求確定。宜采用高阻計進行測試。

C.15.2 在相關表面的導靜電測試表面上采用圖C.15.2所示的測試裝置進行表面電阻和泄漏電阻的測量。圓柱形銅電極的直徑應為60mm,質量應為2.0kg;2個銅電極之間的距離應大于或等于900mm。


圖C.15.2 表面導靜電性能測試裝置
1-高阻計;2-被測表面;3-圓柱形銅電極;4-濕濾紙墊


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