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潔凈室空氣潔凈度等級計算的應用實例ISO 14644-1:2015(E)

發表時間:2018-06-29 14:29:42瀏覽量:


潔凈室空氣潔凈度等級計算的應用實例

D.1  例1

D.1.1

     被測的潔凈室面積(A)為80m2。需要確定其在動態下是否符合規定的懸浮規定的懸浮粒子潔凈度等級。該潔凈室規定的空氣潔凈度等級為ISO Class 55級)。

41405.png

D.1.2

     規定了2個被考慮粒徑:0.3μm (D1)0.5(D2) μm

a)2個粒徑都在ISO Class 5的粒徑范圍之內,(見3.3c)和表1:0.1μm≤0.3μm,0.5μm≤5μm

b)被考慮的二個粒徑是否符合粒徑比要求,D2≥1.5 X D1(見3.3c:0.5μm≥(1.5 X 0.3μm=0.45μm), 是符合的。

D.1.3

    按照公式(1)計算最大允許懸浮粒子濃度

≥0.3μm(D1)的粒子

菠萝视频app下载                                               (D.1)

四舍五入為10200pc/m3

≥0.5μm (D2)的粒子

                                               (D.2)

四舍五入為3520 pc/m3

D.1.4

     采樣點數按公式計算

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因此,最少采樣點數為9個。由于采樣點數少于10,按附錄C計算95%置信上限是適用的。

D.1.5

     單次采樣量Vs以升計,按公式(B.2)計算(見B.4.2.1

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結果大于2L,選擇的采樣量為28L/min的采樣儀器(離散粒子計數和光散射儀器通用的流量)這一選擇的依據是:

a) Vs >2L(B4.2.2)

b) Cn.m >20pc/m3(B.4.2.1)

c)采樣時間>1分鐘(B.4.2.2)

D.1.6

     在各采樣點,只取一次采樣量(28升)(B.4.2.1)。測量中得到的計數記錄如下(B.5.1.1)。

 

采樣點

粒子數(≥0.3μm

粒子數(≥0.5μm

1

245

21

2

185

24

3

59

0

4

106

7

5

164

22

6

196

25

7

226

23

8

224

37

9

195

19

D.1.7 

     按原始數據(D16)計算粒子pc/m3X

采樣點

Xi≥0.3μm

Xi≥0.5μm

1

8750

750

2

6607

857

3

2107

0

4

3786

250

5

5857

786

6

7000

893

7

8071

821

8

8000

1321

9

6964

679

0.3μm0.5μm計算出的濃度值均低于D13中確定的限值,滿足了等級的第一部分(B61)要求,因此可以按附錄C進行95%的置信上限的計算。

D.1.8 

     按公式(C1)計算平均濃度(見C2)是不適用的,因為采集的量是單次采樣量,代表各個點的平均粒子濃度。平均值的總均值要按公式(C2)計算(見C32)。

≥0.3μm的粒子:

 

       D.5

四舍五入為6349 pc/m3

≥0.5μm的粒子:

                                          D.6

四舍五入為706 pc/m3

D.1.9

     按公式(C.3)計算采樣點平均值的標準誤差(見C.3.3)。

≥0.3μm的粒子:

              D.7

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四舍五入為 2154pc/m3

≥0.5μm的粒子:

                           D.9

                                                                      (D.10)

四舍五入為 382pc/m3

D.1.10

     按公式(C.4)計算95%置信上限(UCL)(見C.3.4.單個平均值采樣點數m=9,取自表C.1中的分布系數t=1.9

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四舍五入為 7713pc/m3

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四舍五入為 948pc/m3

D.1.11

     B.6.1對結果進行整理。在D.1.7中各單次采樣量的粒子濃度低于規定的等級限值。在D.1.10中,計算出的95%置信上限值同樣低于在D.1.3中規定的等級限值。

    因此,該潔凈室的懸浮粒子潔凈度符合要求的級別。

D.2  實例2

D.2.1

    本示例目的在于證實95%UCL的計算對結果的影響。

    某一潔凈室規定懸浮粒子潔凈度為ISO 3級,動態,采樣點數定為5個。由于采樣點數多于1個,少于10個,應按附錄C計算95%置信上限。

    只考慮一種粒徑(D≥0.1μm)。

D.2.2

    ISO 3級,粒徑≥0.1μm,從表1中取粒子濃度限值:

Cn≥0.1μm= 1000 pc/m3

D.2.3

     在各采樣點僅單次采樣,按(B.5.1.1)記錄各點的粒子濃度Xi pc/m3,并記錄如下。

                采樣點                Xi≥0.1μm

                  1                      926

                  2                      958

                  3                      937

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                  5                      214

D=0.1μm時各粒子濃度值小于D.2.2中確定的限值。這個結果滿足了等級的第一部分(B.6.1),因此可以按附錄C進行95%置信上限的計算。

D.2.4

    平均值的總均值要按公式(C.2)計算(C.3.2)

                                        (D.13)

D.2.5

    按公式(C.3)計算采樣點平均值的標準誤差(見C.3.3):

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四舍五入為107393                                                 D.14

                                                        (D.15)

    四舍五入為328 pc/m3

D.2.6

     按公式(C.4)計算95%置信上限(UCL)(C.3.4)

     單個平均值m=5,取自表C.1中的分布系數t=2.1

菠萝视频app下载                                                (D.16)

D.2.7

    各單次采樣量的粒子濃度低于規定的等級限值(D.2.2)。

    但是,95%置信上限的計算表明該潔凈室懸浮粒子潔凈度不符合規定的級別。

    本示例說明按95%UCL的計算結果,一個單采樣的界外低粒子濃度(即采樣點5)所造成的影響。

    由于空氣潔凈度的等級之不相符性是因采用了95%UCL,并由一個單次采樣的低粒子濃度造成,可按照B.6.2中的程序確定該不相符性是否可以作廢不計。

 

 

 

 


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